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フルサイズセンサーは高いか? その4

前回からの続き・・・フルサイズセンサーは歩留まりと取り数を考えると、一枚のウェハーから取れる数が2.87倍という計算になります。

これは、製造プロセスが一緒で、画素ピッチも同じ(だから、APS-Cが1000万画素だったら、フルサイズは2500万画素くらい)、というちょっと現実とは異なる前提での話です。実際には画素ピッチはフルサイズのほうが大きいものが多く、フルサイズ有利、チップサイズが大きいために露光(回路を焼き付ける工程)が一回でできないのはフルサイズ不利(これは歩留まりには結構不利だと思います)、などさまざまな条件があると思います。おそらく、一枚のウェハーから取れる数、という意味では、APS-Cとフルサイズで3倍くらいの差があるのではないでしょうか。
(前回のエントリを書いた後で、センサーにはカラーフィルタも付いているのだから、APS-Cでも歩留まり80%ってのはどうかな?高すぎかな?なんて思いましたが、歩留まりなんて各社公開することはほとんどないでしょうから、勝手な想像ということで。個人の趣味で計算してるだけですし)

で、これは投入ウェハーに対して、出来上がってくるセンサーの数がフルサイズはAPS-Cの三分の一しかない、というだけです。あとは、工場の能力の問題もあります。上にちょっと書きましたが、シリコンウェハー上に回路を焼き付ける露光回数の問題もあります。インターネット上では「APS-Cは一回露光、フルサイズは三回露光」なんてことが書かれています。
露光回数の多い少ないは、スループットが変わるか、設備にかかる費用が変わるか、でしょうね。おそらく、フルサイズを流すために、露光機を増やす、なんてことをしないでしょうから(設備投資の回収が大変)、スループットが落ちるのではないかと思います。
20070219process
ただ、半導体のプロセスはこの絵のようなプロセスを何回も繰り返すわけです。熱処理とか、イオン打ち込みなどのほうが時間がかかって、露光プロセス自体はボトルネックにはならないのでは?とも思います。

工場での製造を考えると、APS-Cよりフルサイズのほうが3倍以上は高くなりそうということがわかります。

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